첨부파일
-
Yokogawarika탈포탈기 시스템 플로우 시트_130315KR.pdf (767.9K) 103회 다운로드 DATE : 2017-01-18 09:31:51
본문
탈기모듈 MF series는 용제・약액용으로 No.1! 탈기모듈입니다.
기존제품 (PTFE 중공사막제품)과 비교하여 탈기성능을 높이며, 가격을 낮추었습니다.
탈기모듈 MF 시리즈는 접액부 모두에 불소계 수지를 사용하고 있으므로 내약품성이 뛰어난 반도체 · FPD제조 분야, 전지제조 분야, 정밀기기 분야에서 안심하시고 사용하실 수 있습니다 .
용제 · 약액에 포함 된 기포와 용존가스를 이 탈기모듈에서 제거함으로써 품질의 안정과 수율의 향상 등 다양한 효과를 기대할 수 있습니다。
탈기모듈의 구조
중공사막에 대해
중공사막은 얇은 파이프 모양의 형상을 한 분리막 입니다. 일반적으로 여러가닥을 묶어 사용합니다.
중공사막의 이용방법의 하나로 탈기가 있습니다. 액체 성분을 바꾸지 않고 액체에 있는 용존가스를 제거 할 수 있기 때문에 다양한 분야에서 폭넓게 이용되고 있습니다.
중공사막을 이용한 탈기의 원리는 단순명쾌하며 중공사막 탈기모듈의 구조도 매우 간단하고, 기계적 요소가 없기 때문에 유지 보수가 거의 필요가 없습니다.
일반적인 탈기모듈은 중공사막 속에 펌프 및 가스 압력을 이용하여 액체를 넣습니다.
중공사막의 외부를 진공펌프 등으로 감압하면 중공사의 벽면을 통해 기포 (거품)이나 기체 (가스)가 감압 측에 이동하여 액체안의 기포 및 용존가스를 줄 일 수 있습니다.
탈기용 중공사막의 소재는 물과 수용성액체에 실리콘수지, 약액 및 용제에 불소계수지 (PFA · PTFE 등)가 사용됩니다.
[제품 라인업]
※ MF1000, MF1000-2를 병렬로 연결하여 대유량에도 대응 가능 합니다.
특주사양・OEM사양도 상담해 주십시오.
최대유량 : 큰 포화수를 통과시켜 용존 산소 제거율이 80%이상이 되는 유속
수온25℃, 진공도12kPa(약90torr)일때
내부용량 : 탈기모듈에의 가스 분리막, 배관, 조인트를 포함한 내부용량
S I Z E : 외부치수 (돌출부 제외)
접액부 재질 : 불소계수지 / 외장 : SUS / 약액내압 : 0.4MPaG (권장 0.2MPaG 이하)
상세내용 첨부자료 참조
(사용 예시)
l 세정분야의 세정능력의 향상을 기대할 수 있습니다.
댓글목록
등록된 댓글이 없습니다.